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洁净室 的 静压差 可以是 正压 或 负压 , 洁净室 的 静压差检 测 目的在于 防止室内外气流的相互影响, 进而造成洁净室的污染。
ü 洁净室 的 静压差检 测 应在 洁净区域内的门 都已关闭的情况下进行
ü 洁净室 的 静压差检 测 应 从洁净度高到 低 依次进行 检测,一直到直通室外的房间
ü 静压 差 测管口设在室内没有气流影响的地方 即可 ,保持测管口面与气流 流线 平 行
ü 洁净室 的 静压差检 测 的数据应到 1.0Pa
ü 洁净室 的 静压差检 测 仪器可采用宏瑞科技的数字差压计 DP-40 ( 测量范围从 0-±125pa , 0-±500pa , 0-5000pa …多种量程 可选 ),测量后 应 将所有数据保存完整
洁净室 的 静压差检 测 应符合以下标准:
ü 级别不同的洁净室区域与非洁净室区域之间的静压差 , 不小于5Pa
ü 洁净室与室外的静压差,不应小于10Pa
ü 打开空气洁净度等级高于百级的单向流洁净室门时,门内0.6米的室内工作区含尘浓度不应大于相应级别的含尘浓度限值
对于达不到以上标准的,应重新调整洁净室新风量、排风量,直到合格为止 !
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